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TA系列 晶圓機器人

國產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進(jìn)口品牌

臂長(cháng)：200/260/400mm? 負載：6/8/12寸wafer

支持mapping功能? 支持晶圓有無(wú)檢測


TBA系列 晶圓機器人

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臂長(cháng)：200/260/370/400mm? 負載：6/8/12寸wafer

支持mapping功能? 支持晶圓有無(wú)檢測


JC系列 晶圓校準器

國產(chǎn)替代首選-產(chǎn)品可全面替代日本進(jìn)口品牌

兼容8/12寸晶圓校準? 圓心校準精度：±0.1mm? 缺口校準精度：±0.1°


SA系列 晶圓機器人

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